2017年马会最后结果———mems硅阻压力传感器硅片中部为什么做成一应力杯

答案:1 悬赏:70 手机版

解决时间 2021-04-04 17:10

提问者网友：我一贱你就笑
2021-04-03 23:39

最佳答案

五星知识达人网友：纵马山川剑自提
2021-04-04 00:48

MEMS压力传器结构与工作原理及应用技术　　MEMS指集微型压力传器、执行器及信号处理控制电路、接口电路、通信电源于体微型机电系统 MEMS压力传器用类似集电路（IC）设计技术制造工艺进行高精度、低本批量产消费电工业程控制产品用低廉本量使用MEMS传器打便门使压力控制变简单易用智能化
　　MEMS压力传器原理：
　　目前MEMS压力传器硅压阻式压力传器硅电容式压力传器两者都硅片微机械电传器硅压阻式压力传器采用高精密半导体电阻应变片组惠斯顿电桥作力电变换测量电路具较高测量精度、较低功耗极低本惠斯顿电桥压阻式传器压力变化其输零几乎耗电
　　MEMS硅压阻式压力传器采用周边固定圆形应力杯硅薄膜内壁采用MEMS技术直接四高精密半导体应变片刻制其表面应力处组惠斯顿测量电桥作力电变换测量电路压力物理量直接变换电量其测量精度能达0.01%～0.03%FS硅压阻式压力传器结构图3所示二层玻璃体间硅片硅片部做应力杯其应力硅薄膜部真空腔使典型绝压压力传器应力硅薄膜与真空腔接触面经光刻图2电阻应变片电桥电路外面压力经引压腔进入传器应力杯应力硅薄膜受外力作用微微向鼓起发弹性变形四电阻应变片发电阻变化破坏原先惠斯顿电桥电路平衡电桥输与压力比电压信号
　　传统机械量压力传器基于金属弹性体受力变形由机械量弹性变形电量转换输能MEMS压力传器做像IC微本远远高于MEMS压力传器相于传统机械量传器MEMS压力传器尺寸更超1cm使性价比相于传统机械制造技术幅度提高

我要举报

如以上问答信息为低俗、色情、不良、暴力、侵权、涉及违法等信息，可以点下面链接进行举报！