静电对半导体行业会造成什么样的危害？

静电对半导体行业会造成什么样的危害？

静电会造成静电吸附：
1、对半导体器件制造业而言，由于静电的力学效应就会使车间的浮游尘埃被吸附于半导体芯片上；灰尘也可能附着、寄存于芯片以外的物体上，但由于各种突发的外力作用使尘埃再度飞扬时仍有可能被吸附于芯片上，即使是少量的、线度很小的灰尘粒子附着在芯片上也会严重影响半导体器件的成品率。
2、对于半导体器件使用而言，器件在工作时会将灰尘粒子吸附到器件表面，造成器件之间的绝缘电阻下降，严重时会影响器件工作。
静电放电引起的静电击穿：
1）、当带电物体通过器件形成一个放电通路时或带电器件本身有一个放电通路时，就会产生静电放电而造成器件的损坏！
2）造成器件的性能劣化或参数指标下降而成为隐患。由于器件参数变化很可能使整机运行不正常，或运行一段时间后不能工作。因此软击穿比硬击穿带来的危害更大。
静电感应：当导体和电介质置于静电场中，在其上感应出正或负电荷，其静电电压的幅值取决于静电场的强度。在半导体制造工序过程中产生的静电源能在半导体芯线、工具、器件包装容器等感应出较高的静电电压，对半导体芯片介质放电。