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sin薄膜和si3n4薄膜的区别

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解决时间 2021-03-31 21:36
sin薄膜和si3n4薄膜的区别
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椭圆偏振反射测试膜厚区别
选用Si3N4薄膜Zr O薄膜两种光材料作测试象研究椭圆偏振测量薄膜厚度精度实验结表明,椭圆偏振精度较高,于数量级几十nm光薄
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