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雷尼绍激光干涉仪 回转分度精度测量需要温度补偿嘛?

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解决时间 2021-02-04 06:35
雷尼绍激光干涉仪 回转分度精度测量需要温度补偿嘛?
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根据官方资料,测量回转分度精度不需要温度补偿,原因是:这时候使用的是光学角度镜,测量的是相对数值,所以不需要温度补偿。
实际上,在所有的18项激光干涉仪的功能中,仅仅线性测量需要温度补偿,就是进行螺距补偿时需要温度补偿,其它的项目都不需要温度补偿,原因同上。
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同问。。。
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