光栅位移传感器的分辨率什么意思

光栅位移传感器的分辨率什么意思

两种方法： 利用电子细分，比如对20微米栅距的光栅尺进行200倍细分可得到0.1微米分辨率的光栅尺。但条件是光栅信号要足够的好，也就是示波器上显示的李赛圆要很圆。 另一种办法是减小栅距，比如将栅距减小到10微米，再进行200倍细分得到的便是0.05微米的分辨率。对于透射光栅，栅距减小则意味着衍射现象过重，信号质量变差。20微米栅距，正好是一个临界点。所以，一般对小于20微米的栅距，利用的是光的干涉方法而不采用透射方法。目前国内厂商，暂且还没有这项技术能够利用光的干涉方法来做光栅尺。

常用的光栅为100线或者50线的，对应分辨率为0.01mm，0.02mm； 光栅信号一般有两路路或者四路，可以硬件进行四细分，出来分辨率为0.0025mm、0.005mm。 市场上分辨率为0.001mm或者更高的0.0001mm都是用单片进行细分，理论上可以0-1000细分，也就是把分辨率提高1000倍。 上述是提高分辨率，提高精度与机械结构和细分技术有关。