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直拉法生长单晶硅影响收尾的因素有哪些?

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解决时间 2021-02-12 03:19
直拉法生长单晶硅影响收尾的因素有哪些?
最佳答案
正常收尾时温度、拉速,出现结晶时转速和氩气流量影响也很大!
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