RIE中等离子体包括哪些组分 哪些便于离子轰击 具体通过什么方式 哪些便于化学刻蚀 离子轰击化学刻蚀关系
答案:1 悬赏:30 手机版
解决时间 2021-01-27 08:59
- 提问者网友：那叫心脏的地方装的都是你
- 2021-01-27 02:01
RIE中等离子体包括哪些组分 哪些便于离子轰击 具体通过什么方式 哪些便于化学刻蚀 离子轰击化学刻蚀关系
最佳答案
- 五星知识达人网友：孤独的牧羊人
- 2021-01-27 03:34
RIE中等离子体包括哪些组分 哪些便于离子轰击 具体通过什么方式 哪些便于化学刻蚀 离子轰击化学刻蚀关系
不可以同时设定。
一般RIE设备，都是采用一个 13.56MHz 射频源 和 相应的匹配网络。射频设定功率=前向（实际、有用）射频功率+反射功率。
追问1
不可以同时设定。
一般RIE设备，都是采用一个 13.56MHz 射频源 和 相应的匹配网络。射频设定功率=前向（实际、有用）射频功率+反射功率。
追问1
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