大家做工艺怎么选择用金属刻蚀还是lift

大家做工艺怎么选择用金属刻蚀还是lift

shlwei (blackbody) 于 (Wed Mar 28 05:25:36 2007) 提到:
算盘和计算器都摆在你面前你会用什么？

orlando (丫头★我想我明白了) 于 (Wed Mar 28 08:35:11 2007) 提到:

not like that
sometime it is determined by the process
:)
not one old one new

lichaobo (鸵鸟) 于 (Wed Mar 28 09:27:16 2007) 提到:

在mems里，貌似绝大多数都用lift-off

不过我感觉，在某些rf的器件上用lift-off会有问题，用etch可能好些

lichaobo (鸵鸟) 于 (Wed Mar 28 09:28:58 2007) 提到:

我猜，他说的不是one old one new
而是one classic one advance:)

yitianpeng (攻克语言关) 于 (Wed Mar 28 10:39:33 2007) 提到:

rf里面用lift-off会有什么问题，？/
器件上的么，呵呵

lichaobo (鸵鸟) 于 (Wed Mar 28 13:36:32 2007) 提到:

貌似lift-off会产生毛刺
只是貌似，听人说起过，自己没做过。赫赫

yswyx (不落的尘埃) 于 (Wed Mar 28 13:52:53 2007) 提到:

是的，会产生，如果做的差的话。
所以做SAW，RF的人，用lift-off的时候，最大的挑战之一就是如何去毛刺。不过这个现在比较成熟。

lichaobo (鸵鸟) 于 (Wed Mar 28 15:15:44 2007) 提到:

很多人都选择用湿法
好像效果还很好

yswyx (不落的尘埃) 于 (Wed Mar 28 18:27:32 2007) 提到:

1um以下或者高宽比大的话，湿法就没办法了。
【 在 lichaobo (鸵鸟) 的大作中提到: 】
: 很多人都选择用湿法
: 好像效果还很好

shlwei (blackbody) 于 (Thu Mar 29 01:10:02 2007) 提到:

高手用算盘比菜鸟用计算器快很多倍
我是想说如果对实际操作不是那么熟的话还是用lift-off简单些

lichaobo (鸵鸟) 于 (Thu Mar 29 08:02:53 2007) 提到:

赫赫
1um在RF里貌似用的不是太多吧，老大？

yitianpeng (攻克语言关) 于 (Thu Mar 29 11:00:28 2007) 提到:

也不少，我就准备用，呵呵

huahuamao (huahuamao) 于 (Wed Apr 4 10:59:29 2007) 提到:

这个成熟的做法具体是什么？感觉文献上都是一略而过啊

gilberte (~Green_Bean~) 于 (Wed Apr 4 13:20:30 2007) 提到:

有专门的文章吧，中文的，好好查查:P