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做了XPS 还有必要做EDS吗

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解决时间 2021-03-24 09:37
做了XPS 还有必要做EDS吗
最佳答案
EDX:Energy Dispersive X-Ray Fluoresence Spectrometer
能量色散X射线荧光光谱仪

EDS:Energy Dispersive Spectrometer
能量色散谱仪

EDX是荧光分析,EDS是能谱分析,后者不是x射线能谱仪,如果想准确定量,可以考虑化学分析,XPS,或者俄歇分析(AES),XPS和AES对表面含量较为适合。

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