绝缘材料为什么能溅射

绝缘材料为什么能溅射

绝缘材料溅射都要用交流溅射的，比如中频（一般40KHZ），射频（13.56MHZ），这就是你说的原因了，因为绝缘材料不能导电，所以整个系统不能形成回路，如果你用直流溅射就起不了辉，溅射不能顺利进行。但是，如果你用交流溅射，就可以解决这个问题，因为这个时候溅射阴极随这电源的输出极的正负变化也在扮演阳极，扮演阳极的时候绝缘靶材上的多余电荷正好被等离子中和，有点电容的意思，所以你看一个输出周期只有一半的输出是有效的，因此溅射效率会有损失，这也是为什么交流溅射比直流溅射速率低的原因。

你可以考虑用孪生阴极，两个一样的阴极，分别接在交流溅射电源的两个输出端，这样就可以利用整个电源周期。也可以考虑在交流电源上串联一个直流偏压。也可以考虑用一种这两年推出的新电源---脉冲直流溅射电源（翻译不准确实际是一个交流电源进行了截波处理，只有正的输出，负的都截至了）。
要获得更详细的信息你得去看书了。我只能大概讲讲。