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真空蒸发镀纯铟均匀性怎么样控制

答案:3  悬赏:80  手机版
解决时间 2021-02-05 08:55
设备上注意那些?工艺上电流怎么样设置
最佳答案
设备上要注意电压的稳压性,电流不宜过大。
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b de wen ti
本底真空、加热时间、镀膜室的真空状态要稳定、控制器的电流不要波动太大蒸镀我没接触过,我只是懂点磁控溅射,只供参考 呵呵
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