磁控溅射镀膜机,加热电流范围是多少,一般采用多大的电流来对基片加热?
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解决时间 2021-01-25 20:29
- 提问者网友：难遇难求
- 2021-01-25 09:37
磁控溅射镀膜机,加热电流范围是多少,一般采用多大的电流来对基片加热?
最佳答案
- 五星知识达人网友：空山清雨
- 2021-01-25 09:54
不同的设备的加热电流相差很大,没有固定的指标.磁控溅射镀膜机的基片加热是在开始镀膜时给基片一定的温度,镀膜开始后,基片的温度会不断上升,需要降低加热的电流,最后可能不需要启动加热了.可以再基片附近安放一个热偶,标定一下,在不同的时间,基片的相对温度,同时调整加热的电流,使基片基本保持在一个温度范围内,并做好记录,这个记录就是镀膜的加热工艺.
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- 1楼网友：我住北渡口
- 2021-01-25 10:11
我明天再问问老师，叫他解释下这个问题
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