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ald 氧化铝薄膜为什么需要退火

答案:2  悬赏:10  手机版
解决时间 2021-03-07 07:46
ald 氧化铝薄膜为什么需要退火
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消除应力。即,界面应力与膜内应力。
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我不会~~~但还是要微笑~~~:)
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