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怎么根据硅片重量计算厚度阿

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解决时间 2021-01-28 06:33
怎么根据硅片重量计算厚度阿
最佳答案
要看是好多英寸的,还要晓得纯硅的密度(可查)。
若硅片直径d米(1英寸=0.0254米),硅的密度为ρ千克/米³,硅片重m千克,硅片均匀且不考虑定位边的话,那么硅片的厚度h大致为
h=4m/ρπd²
如果要考虑定位边,定位边截去的面积为Sd米²,则
h=4m/(ρπd²-4ρSd)
h单位是米,网上查得ρ=2.42克/厘米³=2420千克/米³,注意单位转化。
全部回答
硅片的密度是2330kg/m³,单晶硅尺寸约为125×125平方毫米,多晶硅156×156微米,厚度180-200微米不等,
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