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如何提高ITO镀膜的透光率

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解决时间 2021-03-18 20:40
如何提高ITO镀膜的透光率
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跟靶材质量关系密切,质量不高的话为了达到一定的方块电阻,膜厚会偏高,透光性会影响
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加温就好 加温就好 加温就好
TN100的膜厚要求250左右,可以ITO靶区加温,加SIO2,然后面电阻做大、
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