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关于ITO靶材的问题

答案:2  悬赏:80  手机版
解决时间 2021-11-11 21:32
关于ITO靶材的问题
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做导电阻挡层是吧,以前做薄膜存储器时用到这个东西了,氧化钛的大概电阻率是80Ω/m
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另外混合物是什么材料的
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