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硅片的等离子体扩散有哪些设备

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解决时间 2021-03-10 16:14
硅片的等离子体扩散有哪些设备
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该组设备分自动上下料、硅片传输、系统整合部分和光伏硅片检测仪对硅片表面不平整度进行检测,同时等离子刻蚀 由于在扩散过程中,即使采用背靠背扩散
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