为什么硅片热氧化需要很高的温度
答案:1 悬赏:40 手机版
解决时间 2021-12-03 13:41
- 提问者网友：雪舞兮
- 2021-12-03 01:25
为什么硅片热氧化需要很高的温度
最佳答案
- 五星知识达人网友：未来江山和你
- 2021-12-03 01:56
简述硅片热处理意义 ①热处理温度要求：650±5℃； ②热处理目的：还原直拉单晶硅片真实电阻率； 1、热处理后电阻率会有什么变化 由于氧是在大约1400℃引入硅单晶的，所以在一般器件制造过程的温度范围（≤1200℃）
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