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真空镀膜机有辐射吗

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解决时间 2021-01-28 13:12
真空镀膜机有辐射吗
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用几十电子伏或更高动能的荷能粒子轰击材料表面,使其原子获得足够的能量而溅出进入气相,这种溅出的,复杂的粒子散射过程称为溅射。溅射镀膜是利用溅射现象来达到制取各种膜层的目的,即在真空室中利用荷能离子轰击靶表面,使被轰击出的粒子在基底上沉积的技术。在与靶表面平行的方向上施加磁场,利用电场和磁场相互垂直的磁控管原理减少了电子对基底的轰击,有效降低了基底温度,使高速溅射成为可能
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