曝光机的组成机构
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解决时间 2021-03-14 20:01
- 提问者网友：沉默菋噵
- 2021-03-14 13:27
曝光机的组成机构
最佳答案
- 五星知识达人网友：过活
- 2021-03-14 14:00
UV灯构造
带托盘的晶片工作台
配CCD镜头的显微镜
监视器
掩膜夹具
UV灯透镜
UV灯镜片
UV灯电源系统
操作控制器
350W UV灯
晶片台
基底尺寸 标准尺寸 最大至4英寸；可选最大至6英寸；
托盘 标准尺寸 最大至4英寸；可选最大至6英寸；
活动范围：X：10mm Y： 10mm Z ： 10mm Theta： 4 degree
挤入补偿 Air bearing型
Z轴滑动 手动
真空泵 无油真空泵
掩膜台
掩膜夹具类型 真空吸附和机械夹取
均匀光束大小 4.25“ X 4.25“
支持接近式曝光，各种接触式（真空接触、软接触、硬接触等）曝光
接触式曝光特征尺寸：
0.35 um@深紫外DUV：
0.5um@近紫外NUV；
0.6um@紫外UV；
接近式曝光特征尺寸：
1um @ Gap为20 um；
2um @ Gap为50 um；
带托盘的晶片工作台
配CCD镜头的显微镜
监视器
掩膜夹具
UV灯透镜
UV灯镜片
UV灯电源系统
操作控制器
350W UV灯
晶片台
基底尺寸 标准尺寸 最大至4英寸；可选最大至6英寸；
托盘 标准尺寸 最大至4英寸；可选最大至6英寸；
活动范围：X：10mm Y： 10mm Z ： 10mm Theta： 4 degree
挤入补偿 Air bearing型
Z轴滑动 手动
真空泵 无油真空泵
掩膜台
掩膜夹具类型 真空吸附和机械夹取
均匀光束大小 4.25“ X 4.25“
支持接近式曝光，各种接触式（真空接触、软接触、硬接触等）曝光
接触式曝光特征尺寸：
0.35 um@深紫外DUV：
0.5um@近紫外NUV；
0.6um@紫外UV；
接近式曝光特征尺寸：
1um @ Gap为20 um；
2um @ Gap为50 um；
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