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薄膜测试xrd怎么计算x射线入射的深度

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解决时间 2021-03-30 19:36
薄膜测试xrd怎么计算x射线入射的深度
最佳答案
谢勒公式D=kλ/FWHM cosθ计算
D:晶粒尺寸(不叫离子尺寸的)
k:0.89
λ:XRD测试的x射线的波长,一般分kα1和kα2,具体用那种需要问测试老师。
FWHM:半高宽
θ:衍射角
具体方法:选定最强的衍射峰,测量其衍射角和半高宽(可用jade读取),然后带入公式计算即可。
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