什么是气液沉积法?

什么是气液沉积法?

气液沉积法的工艺流程与氢还原法基本相似, 也只是还原炉不同。三氣氢硅与氢气的混合气从炉的上方进人反应炉的高温石墨管 中。气态的三氣氢硅和氢气在石墨管内发生化学还 原反应,在石墨管内壁高温处反应生成液体状硅,然后滴人底部,变成固体粒状的太阳能级 多晶硅。流化床法的优点是:沉积速率快,产量高,电 耗较低,成本低。流化床法的缺点主要是被沾污,因为在生产 中,气体是在石墨管内进行化学还原反应的,所以 产品含碳高,质量差。