EDX 点扫，面扫和mapping这三者之间有什么差别

EDX 点扫，面扫和mapping这三者之间有什么差别

EDX 点扫,面扫和mapping这三者之间有什么差别？
就定量来说，SEM点分析比线分析和面分析更准确，扫描的方式不同，线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况（线分析是沿着某个界面的元素分布起伏，而面分析是看整个视场的元素分布情况），点分析可以基本定量分析元素。