利用原子沉积对光学器件镀膜能够改善均匀性的方法有哪些

利用原子沉积对光学器件镀膜能够改善均匀性的方法有哪些

一种用于行星转动系统镀膜机内改善球面光学元件镀膜均匀性的挡板设计方法。建立镀膜模型和设计了具有抛物线轮廓的平面修正挡板。本发明挡板用于镀膜实验表明，在通光口径与曲率半径比值范围（－1.9～+1.9）内改善膜厚均匀性达到97.5%以上，且对凸球面光学元件和凹球面光学元件都适用。