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INRF在wafer clean中是什么意思?

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解决时间 2021-02-01 07:00
INRF在wafer clean中是什么意思?
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INRF:Integrated Nanosystems Research Facility
INRF制定很多wafer clean工艺的标准,安全标准,clean room标准等等有关半导体生产的一系列标准.
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