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以Si为例,CZ、FZ晶体生长技术有何异同?

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解决时间 2021-02-07 17:46
以Si为例,CZ、FZ晶体生长技术有何异同?
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CZ是直拉法,就是首先把多晶硅置于坩埚内加热熔化,然后采用小的结晶“种子”——籽晶,再慢慢向上提升、结晶,获得大的单晶锭。
FZ是水平区域熔化生长法,就是水平放置、采用感应线圈加热、并进行晶体生长的技术。
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