硅片切割中经常断线！想请教断线都由哪些原因造成？谢谢！

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解决时间 2021-02-06 11:31

提问者网友：轻浮
2021-02-05 18:55

最佳答案

五星知识达人网友：玩家
2021-02-05 19:11

多晶硅锭中常出现的硬质夹杂是造成硅片线切割生产中断线的主要原因之一，同时影响到太阳能电池片的质量。我们采用扫描电镜－特征X射线能谱仪、3D数码显微镜、傅立叶红外光谱等手段对定向凝固多晶硅断面、抛光面、溶解沉淀以及硅片中的游离碳含量进行了分析。结果表明，硅锭顶表层出现大量SIC和Si3N4夹杂，其数量随深度迅速减小；硅锭内部SIC十分稀少，尺寸也一般很小，但有时会出现大颗粒(~100μm)。硅片中游离碳含量远低于形成SiC所需临界平衡C浓度。就以上结果对SiC形成原因进行了讨论，并提出了减少SiC夹杂的建议措施。

断线的原因：⑴发生在切割室的断线：①钢线磨损严重（0.14钢线磨损不超8um，0.12钢线磨损不超6um）。②同一刀晶棒断面不齐，造成钢线受到侧向力较大变形严重。③严重跳线，造成两根钢线缠绕。⑵发生在绕线室的断线：①可能为张力太大或张力的变化太大；②排线不好，线轮绕线与机床排线差别较大。③导向轮过度磨损，造成钢线受力不均。

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1楼网友：罪歌
2021-02-05 20:34

保证钢线的垂直度预防跳线工艺不要不成正比等等好多桂邦的坡面也很重要

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