离心研磨机怎么保养

离心研磨机怎么保养

a)一化学机械离心研磨机上，其具有一研磨主轴、可拆装地设置于该研磨主轴上一研磨具，其该研磨载具具有数个抽气孔、一可拆装导环以及一载具膜，用激光预先加工所述载具膜上与该抽气孔对应数个孔洞；
(b)当该化学机械离心研磨机需预防保养时，将该研磨载具从该研磨主轴上拆下；
(c)将该导环从该研磨载具拆下且去除原有载具膜后，对该研磨载具进行清洁处理；
(d)将新载具膜与对孔板对准，其该对孔板上具有与该抽气孔对应数个第一销孔，且每一第一销孔上设有一固定销，当该载具膜与该对孔板对准时，每一固定销穿过该孔洞；
(e)将该载具膜与该对孔板一起放置该研磨载具上，使每一固定销依序穿过对应孔洞、抽气孔；
(f)将该载具膜粘贴该研磨载具上，且移去该对孔板；
(g)将该导环安装至该研磨载具后，将该研磨载具安装至该研磨主轴上。