射频溅射加偏压和直流溅射中加偏压有什么不同现象

射频溅射加偏压和直流溅射中加偏压有什么不同现象

中频（磁控）溅射和偏压是两个不同的概念。在磁控溅射离子镀之中，偏压是指施加在工件上的负电压，用来施加偏压的电源叫做偏压电源。中频溅射是用来镀膜的，中频溅射靶的电源叫做中频电源。如果还不清楚可以百度Hi我。