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流量单位中SCCM是什么

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解决时间 2021-01-07 09:26
流量单位中SCCM是什么
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另一說法,SCCM 是質流單位(Mass flow),與一般常用的流量單位是不同的,常見的流量單位例如: 1cc/sec.是代表單位時間流過之體積,而質流是表示單位時間通過的氣體莫耳數,這種單位通常用於化學反應中,如CVD等需要精確控制原子成分比之場合(理想氣體公式: PV=NRT,當處在標準狀態下,氣體體積比等於莫耳數比,所以只要控制氣體的質流比就等於控制反應氣體之莫耳數比)
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