描述icp中等离子体是怎样产生和维持的

描述icp中等离子体是怎样产生和维持的

低温的等离子体产生基本都是电子碰撞电离产生的，ICP主要是利用线圈通电流在放电腔是内产生涡旋电场，来加速背景电子，电子能量增加碰撞气体原子产生等离子体。维持等离子体你需要不断馈入气体工质。这种方式都H模式放电。还有一个E模式放电，就是线圈上高压电场直接加速电子击穿气体，击穿之后还会回到H模式放电。