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原子层沉积和分子束外延生长的区别

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解决时间 2021-04-01 22:31
原子层沉积和分子束外延生长的区别
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用这种技术已能制备薄到几十个原子层的单晶薄膜,以及交替生长不同组分、不同掺杂的薄膜而形成的超薄层量子显微结构材料
全部回答
原子层外延可以精确的以每周期一个单原子层来控制外延生长,外延表面更加原子级平整,外延层的厚度只决定于外延的周期数,而对温度、束流大小等不敏感,可以在较低的温度下生长高质量的薄膜材料;分子束流外延即传统意义上的分子束外延方法,与生长温度、V/III束流比等生长参数有关。
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