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目前光刻工艺所能处理的最小尺寸是多少? 不要说中国的 全球的! 谢谢!22nm吗?

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解决时间 2021-02-01 04:57
目前光刻工艺所能处理的最小尺寸是多少? 不要说中国的 全球的! 谢谢!22nm吗?
最佳答案
先说明光刻工艺定义为以曝光方式进行化学蚀刻,以全自动化设备在无尘的实验室内已经可做到5nm.量产为9nm.追问哦哦 那请问中国的是多少追答量产方面有外企做到18nm, 实验室可以做到9-12nm.谢谢!追问哦哦 谢谢你了 采纳了
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