真空镀膜机的室内出现反油类是怎么解决的

这是泵停了，油阀没关，箱体里反抽的结果，以后关机后把油阀也一起关掉，这个是要手动关的，一般操作界面是没的，我们也经常出现这情况

打开高阀的真空度设置高一点，正常情况设置为7.0E-0---4.0E开高阀，其次是操作手法的问题，主要就是打开预阀5秒后才能开高阀，否则最容易返油。再有就是设备本身的问题，例如冷阱水管堵塞或者冷阱或泵体冷却水温太高都可能造成返油。

有很多 原因可以导致 反油现象 最常见 为 扩散泵 冷却井 循环水 水沟堵塞 造成的 冷却井没有达到冷却作用，或者是 扩散泵内 真空硅油 过多 造成的。或者是 设备 在 抽真空状态下 某个 机械泵 突然 停止运转，或是 突然启动 造成的 一般通常会 黄件，也有可能 造成 反油 现象。