请教 MIM 电容
答案:3 悬赏:70 手机版
解决时间 2021-03-14 12:12
- 提问者网友：临风不自傲
- 2021-03-14 06:01
请问90n工艺，MIM电容为什么不能做在两层厚金属之间啊？而一定要做在Mx和Mn之间？谢谢
最佳答案
- 五星知识达人网友：duile
- 2021-03-14 06:49
MX和MN代表不同的cu design rule。Cu BEOL一般称为1X，2X，4X。MX和MN好像是TSMC的叫法
全部回答
- 1楼网友：青尢
- 2021-03-14 08:08
Mx和Mn?不懂代表什么意思.不过有看到做在PAD之前的.
- 2楼网友：妄饮晩冬酒
- 2021-03-14 07:03
是脉冲技术，一般都小于1微法，可能都是毫秒级的；也就是说电容的极间电场强度上升的速率极快。此时就要求采用的绝缘介质电介常数高，而容量却较小，采用自动生产线（确保特性的分散性小），电容处在高频工作状态、导电性好（最好能镀银），同时导电膜厚度均匀、高频特性要好，一般来说此电容器充电放电时间都特别短哦
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