(1)氯化氢管线因为自身重量问题或检修失误、误操作等问题引起阀门、管线发生爆裂或泄漏,导致氯化氢气体外溢。此事故会对外环境空气和地表水体产生影响;(2)三氯氢硅固定床反应器内压力是2.76MPa,500℃。反映器内温度相对较高,其有一定正压,在反应器及其连接的三氯氢硅输出管线、连接处、控制阀等发生泄漏事故后,将会外溢一定量的三氯氢硅,遇水会快速与水反应,易对外环境空气和地表水体产生影响;(3)三氯氢硅储罐在管理、设备、操作过程中可能发生罐体泄漏事故,其事故发生时会产生与上述情况一致的影响,并且在事故救援时产生一定量的固体废物(干粉、砂土等含有三氯氢硅、氧化硅、氯化氢等物质的灭火、吸附剂料);(4)伴随反应生成的氢气也会发生泄漏、燃爆的可能。