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谁有化学机械抛光CMP的抛光视频啊。有的话发到我邮箱上哦。最好是蓝宝石抛光

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解决时间 2021-02-16 13:34
我邮箱是329731049@qq.com
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说实话那视频拍出来你也看不清楚,陶瓷盘压着片子,你能看见的就是抛光皮,再说CMP抛光的具体反应过程到现在都没有什么定论。
简单解释,就是硅溶胶和蓝宝石衬底片表面损伤层反应,然后借助抛光皮把反应物带走,同时纳入新的硅溶胶进行继续反应。
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