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a-Si TFT S/D Drain为什么用MoAlMo? LTPS M3 为什么用MoAlMo? 上下两层Mo的作用分别是什么?

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解决时间 2021-03-16 05:56
a-Si TFT S/D Drain为什么用MoAlMo?
LTPS M3 为什么用MoAlMo?
上下两层Mo的作用分别是什么?
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纯铝有氧化及受热气化问题
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