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你好,能问一下MOCVD生产外延片,一炉要多长时间吗?

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解决时间 2021-02-05 01:22
你好,能问一下MOCVD生产外延片,一炉要多长时间吗?
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首先说一下,MOCVD可以长很多东西,比如蓝光、红光LED,比如HEMT,我估计你问的是蓝光LED。生长LED的时间和LED本身的结构有很大关系,有的厂家的LED结构复杂点,生长的时间就要长一点,有的简单点,所以生长的时间大大缩短。 普遍的说,按照目前的结构工艺(总共10个量子阱左右),生长的时间在6-10个小时1炉
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生产蓝宝石衬底的企业暂时没有几个在同时生产外延片,除了向三安光电那样做了外延片之后又往前做衬底片的,因为外延片的资本技术等投入不是一下两下就能搞的定的,像蓝晶四联只做衬底,不做外延,但是四联可以做后道封装,所以大部分的衬底厂家不做外延片。 mocvd是氮化镓层在蓝宝石衬底片上生长的一种方法,又是因为这样的方法,所以一般又把这种机器叫mocvd,mocvd是以ⅲ族、ⅱ族元素的有机化合物和v、ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种ⅲ-v族、ⅱ-ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。 泡生法是一种蓝宝石晶体的长晶方法,又叫ky(kyropoulos)法,这种方法是将一根受冷的籽晶与熔体接触,如果界面的温度低于凝固点,则籽晶开始生长,为了使晶体不断长大,就需要逐渐降低熔体的温度,同时旋转晶体,以改善熔体的温度分布。也可以缓慢的(或分阶段的)上提晶体,以扩大散热面。 mocvd跟泡生法两者没有什么关联,如果非要说联系,那就说泡生法生长的晶体材料的品质问题会在mocvd外延后有一定的体现。 希望对你有用。
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