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多晶硅反应配比怎么计算

答案:2  悬赏:20  手机版
解决时间 2021-12-03 06:08
多晶硅反应配比怎么计算
最佳答案
改良西门子法:
Si+3HCl =SiHCl3+H2
3SiCl4+2H2+Si=2SiHCl3+SiCl4+SiH2Cl2
3SiHCl3+H2=Si + SiHCl3(没有转化的)+2HCl+2H2(回收的)
硅烷流化床法:

(1)
氢化: Na+ Al+ 2H2= NaAlH4 (1)

(2)
四氟化硅生成:H2SiF6= SiF4+ 2HF (2)

(3)
硅烷生成: SiF4 + NaAlH4 = SiH4 + NaAlF4 (3)

(4)
多晶硅生成: SiH4 = Si+ 2H2 (4)
全部回答
你是说氢气和三氯氢硅的配比?
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