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二极管酸洗

答案:1  悬赏:80  手机版
解决时间 2021-01-27 21:06
二极管酸洗内槽总是是有时无的出现蓝色,这是哪里出了问题?
最佳答案
二极管在酸洗时要使用的磷酸,双氧水和水 腐蚀温度70.根据环境温度而定,夏天的温度在70度左右,冬季要高些,一般在85--90度。只有一顶的温度才能保证清洗效果及反应充分。 现在行业内通用的比例是:磷酸:双氧水:水=1:1:5 温度控制:75±5度!
二极管酸洗分两种情况:
一是对于OPEN JUNCTION的工艺,在晶圆扩散后切片成晶粒,晶粒的边缘是粗糙的,电性能不稳定,需要用混合酸(主要成分为氢氟酸)洗掉边缘,然后包以硅胶并封装成型。酸洗分几步完成,磷酸双氧水和水配是其中一步使用的溶液。
二是在GPP工艺中,有一种结构需要将玻璃包覆边缘的沟槽挖出,也要用到酸洗。
酸洗过程是比较敏感和专业的工艺过程,直接影响到二极管的品质,其中关键内容很多,不可能简单说清。
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