光电光波比长仪的详细资料

光电光波比长仪的详细资料

comparator 以不接触光学定位方法瞄准被测长度，主要用于测量线纹距离的精密长度测量工具。 比长仪一般采用测量显微镜或光电显微镜作为瞄准定位部件，并以精密线纹尺的刻度或光波波长作为已知长度，与被测长度比较而确定量值。比长仪主要用于检定线纹尺，测量分划板上的线距和物理、天文类照相底片上的光波谱线距离，也可用于测量孔径。 比长仪按结构布局分为纵向的和横向的两类。纵向比长仪采用线纹尺作为已知长度，且结构设计符合阿贝原则(见长度测量工具)，称为阿贝比长仪（见图[阿贝比长仪]）。测量时,先用测量显微镜瞄准被测线条,从读数显微镜读得一数值。然后移动工作台，再用测量显微镜瞄准另一被测线条，从读数显微镜读得另一数值。这两个数值之差即是被测两线条间距离。横向比长仪的被测长度和已知长度是并列布置的，这种布局可以缩短导轨长度,但要求导轨精度高。采用爱宾斯坦光学系统,可以补偿结构不符合阿贝原则而产生的测量误差。以光电显微镜代替上述两种显微镜者，称为光电比长仪；采用激光或其他单色光波长作为已知长度者，分别称为激光比长仪和光电光波比长仪。阿贝比长仪的测量精确度为±1～±1.5微米／200毫米，光电比长仪可达到±0.5微米／1000毫米，而光电光波比长仪和激光比长仪则可达到±0.2微米／1000毫米。