常压等离子体与低温等离子体有何不同？

常压等离子体与低温等离子体有何不同？

常压等离子体中“常压”指的是大气压，与低气压等离子体的"低气压"相对应。
低温等离子体中的“低温”具体指的是等离子体中的电子温度低。根据电子温度不同，可以将等离子体分为两大类：高温等离子体，低温等离子体。
高温等离子体：电子温度高（几个、几十keV，）；
低温等离子体：电子温度低（几个、十几、几十eV）。
低温等离子体又分为热等离子体（Te≈Ti≈Tg ，e--electron，i--ion，g--gas，热平衡或局域热平衡），冷等离子体 (Ti≈Tg« Te 非热平衡)。注意，热等离子体的Te通常低于等离子体的Te。
显而易见，常压、低温是两种不同分类中的术语。
在常压放电中，电子与中性气体粒子频繁碰撞，难以被加速到高能，通常获得低温等离子体，也许这是常压与低温等离子体产生混淆的原因。

低温等离子体主要的应用在 化学气相沉积 刻蚀，清洗 表面改性 冷光源 等离子体是物质存在的第四态，比气态能量更高,等离子体是良导体，受磁场影响。 微波是等离子体产生的方法之一，微波等离子体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点，其等离子体发生室和处理室可分合，工艺灵活。微波等离子体具有其他等离子体难以比拟的优势和特点。 等离子体比其他工艺有更高的温度和能量密度,能够产生活性成分，引发常规条件下不能或难以实现的物理和化学反应。 等离子体工艺优点： 干式洁净工艺 满足无尘室等苛刻条件 使用方便灵活，工艺简单 对各种形状的零件有明显处理效果 工艺条件完全可控 成本低，效果好，时间短。 资料来自：www.uniplasma.com

这是俩个不同的概念，无法比较，低温和高温是对应的，常压和低压是对应的。高温等离子体就是指托克马克也是核聚变，其余的都是低温的。常压的低压是相对的，一般低压的等离子体可以存在的时间长点，而且也稳定一点，常压的碰撞频繁，因此采用介质阻挡放电来把放电做均匀。

当温度高达百万开到1亿开，所有气体原子全部电离．电离出的自由电子总的负电量与正离子总的正电量相等．这种高度电离的、宏观上呈中性的气体叫等离子体，这是常压等离子体。要实现低温等离子体，压强要接近0，所以低温等离子体必须低压