硅片表面刻蚀后呈现蓝紫色，是什么原因
答案:1 悬赏:30 手机版
解决时间 2021-01-19 18:29
- 提问者网友：贪了杯
- 2021-01-19 07:18
硅片表面刻蚀后呈现蓝紫色，是什么原因
最佳答案
- 五星知识达人网友：山君与见山
- 2021-01-19 08:38
(reactive ion etch;RIE) 已足敷「次微米」线宽制程技术的要求,而正被大量反应物应被硅片表面吸附以持续化学反应;挥发性的生成物应可从硅片表面解吸附并
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