微机电系统的发展历史
答案:1 悬赏:20 手机版
解决时间 2021-04-05 07:29
- 提问者网友：别再叽里呱啦
- 2021-04-04 16:23
微机电系统的发展历史
最佳答案
- 五星知识达人网友：一把行者刀
- 2021-04-04 17:26
微机电系统是从微传感器发展而来的，已有几次突破性的进展：
70年代微机械压力传感器产品问世
80年代末研制出硅静电微马达
90年代喷墨打印头，硬盘读写头、硅加速度计和数字微镜器件等相继规模化生产
充分展示了微系统技术及其微系统的巨大应用前景
70年代微机械压力传感器产品问世
80年代末研制出硅静电微马达
90年代喷墨打印头，硬盘读写头、硅加速度计和数字微镜器件等相继规模化生产
充分展示了微系统技术及其微系统的巨大应用前景
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