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请教,PVD制备薄膜方法中的溅射方法可分为几类

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解决时间 2021-11-15 19:31
请教,PVD制备薄膜方法中的溅射方法可分为几类
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我知道有中频溅射。直流溅射,射频溅射,二级溅射。三级溅射,不想买书可以去文库看看
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