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研磨抛光晶片过程中,抛光膜变黑,抛光砂出现油脂,是怎么回事

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解决时间 2021-03-29 16:45
研磨抛光晶片过程中,抛光膜变黑,抛光砂出现油脂,是怎么回事
最佳答案
抛光变黑属于氧化现象,这种问题很好解决,想问一下你的晶片是什么材料的
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