1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
旋片式真空泵使用时要注意哪几事项 ?
答案:2 悬赏:0 手机版
解决时间 2021-02-02 19:51
- 提问者网友:做自己de王妃
- 2021-02-02 14:08
最佳答案
- 五星知识达人网友:woshuo
- 2021-02-02 15:22
主要有两点:
1 保证泵供油顺畅.(大部分旋片泵供油属自吸供油),所以不要在高压端(大于3000Pa)长期(大于5min)工作.
2 保证油清洁.
总结:油好一切都好
1 保证泵供油顺畅.(大部分旋片泵供油属自吸供油),所以不要在高压端(大于3000Pa)长期(大于5min)工作.
2 保证油清洁.
总结:油好一切都好
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- 1楼网友:duile
- 2021-02-02 16:52
旋片式真空泵拆装步骤:
1、先把油放啦、松开进气咀法兰螺钉,拔出进气咀,松开气镇法兰螺钉,拔出气镇阀
2、拆下油箱、拆除止回阀开口销,拆下止回阀叶轮。
3、拆除支座与泵的连接螺钉,拆下泵部装件,电机拆否视方便而定。
4、松开泵盖螺钉,拆下泵盖,拉出二转子及旋片。拆下低级转子时,麻先拆下开口销。
旋片式真空泵装配步骤
1、旋片式真空泵装上泵部的排气阀、挡油板等零件。
2、把泵部、键、联轴节、电机装在支座上
3、用纱布擦净零件,防止回丝堵塞油孔,最好用清洗液和刷子清洗。
4、低级转子装配方法同上。
5、插入进气咀,气镇阀,装上法兰固紧。
6、旋片式真空泵装上止回阀叶轮等止回零件,应使止回阀头平面对准进油咀油孔,按工作时的转向旋转转子并用手轻轻反向挡住叶轮,油孔应时开时闭,调整阀头平面最大开启高度为o.8~1.2毫米,具体可移动止回阀座、橡胶止回阀头在阀杆孔中的位置来实现。简便查法:面对叶轮,使φ3mm传动销处于右手水平位置,顺时针方向拨动叶轮,此时止回阀头平面的开启高度近于最大,应为0.8~1.2mm。转子停止在任何位置,手从叶轮上松开后,止回阀头应自动落下关闭油孔。
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