光刻时曝光与显影之间的关系是什么？
答案:1 悬赏:10 手机版
解决时间 2021-01-26 23:50
- 提问者网友：我们很暧昧
- 2021-01-26 19:48
光刻时曝光与显影之间的关系是什么？
最佳答案
- 五星知识达人网友：走死在岁月里
- 2021-01-26 21:18
1、曝光过度会导致显影不净。
2、曝光能量不足会导致显影过度。
3、实际曝光能量需根据干膜种类、厚度或油墨种类/厚度/烘烤时间确定，正常线路曝光使用能量40 -- 120mj/cm2，油墨曝光能量150-500mJ/cm2，具体以曝光尺为准；线路曝光尺5 --8格，油墨的曝光尺做到9 --13格。
2、曝光能量不足会导致显影过度。
3、实际曝光能量需根据干膜种类、厚度或油墨种类/厚度/烘烤时间确定，正常线路曝光使用能量40 -- 120mj/cm2，油墨曝光能量150-500mJ/cm2，具体以曝光尺为准；线路曝光尺5 --8格，油墨的曝光尺做到9 --13格。
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