真空镀膜为什么有轰击而没有轰击电流
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解决时间 2021-02-20 23:55
- 提问者网友：雪舞兮
- 2021-02-20 17:20
真空镀膜为什么有轰击而没有轰击电流
最佳答案
- 五星知识达人网友：鸠书
- 2021-02-20 18:29
真空镀膜机是用电弧轰击靶材产生离子然后再沉积到基材上。期间需要足够高的电压，并在某个温度保持一定时间。
加热会使吸附在机器内壁和蒸发舟、工件等位置的气体放出，所以真空度会变差。持续加热一段时间，吸附气体放完，真空度自然会变好。不了解你的盖板是什么东西，挡板？是不是有点脏？
都是真空度的问题。如果真空主泵没有问题，肯定是系统漏气。
找个检漏仪仔细检查下，1、首先看是什么显示，是表头还是触摸屏 2、表头不显示的话，一般是表头有问题，因为电流互感器基本上不坏。
加热会使吸附在机器内壁和蒸发舟、工件等位置的气体放出，所以真空度会变差。持续加热一段时间，吸附气体放完，真空度自然会变好。不了解你的盖板是什么东西，挡板？是不是有点脏？
都是真空度的问题。如果真空主泵没有问题，肯定是系统漏气。
找个检漏仪仔细检查下，1、首先看是什么显示，是表头还是触摸屏 2、表头不显示的话，一般是表头有问题，因为电流互感器基本上不坏。
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- 1楼网友：神的生死簿
- 2021-02-20 19:55
真空度不够！
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